一、核心特性

• 高纯度：α-Al₂O₃≥99%，杂质（特别是Fe₂O₃）含量极低（<0.03%），避免抛光污染与表面变色。
• 高硬度：莫氏硬度9.0，切削力强，高效去除玻璃表面损伤层。
• • 粗抛：常用W20~W10（约 10~20μm）。
  • 精抛：常用W5~W0.5（约 0.5~5μm）。
  • 粒度分布极窄，无大颗粒，防止表面划伤。
   
• 化学稳定：耐酸碱，在抛光液中不发生反应，不腐蚀玻璃。
• 自锐性好：颗粒磨损后自动产生新锋利棱角，抛光效率稳定。

二、在抛光液中的作用

• 主要功能：作为磨料，在化学机械抛光（CMP）中承担机械切削作用，快速去除玻璃晶圆表面的粗糙层、划痕或加工变质层。
•  
• 协同效应：与抛光液中的分散剂、润滑剂、pH 调节剂等配合，实现高效、低损伤、高平整度的抛光效果。

三、玻璃晶圆用白刚玉微粉关键指标

• 纯度：Al₂O₃ ≥ 99.3%；Na₂O ≤ 0.2%；Fe₂O₃ ≤ 0.03%。
• 粒度：W10 (10μm), W5 (5μm), W3.5 (3.5μm), W1.5 (1.5μm), W1 (1μm)。
• 颗粒形貌：等积形 / 多棱角，锋利且韧性适中。